Record Nr.

UNINA9910709902903321

Autore

Hartman A. W

Titolo

A non-contacting length comparator with 10 nanometer precision / / A. W. Hartman; F. W. Rosberry; J. Arol Simpson

Pubbl/distr/stampa


Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1973

Descrizione fisica

1 online resource

Collana

NBSIR ; ; 73-104

Altri autori (Persone)

HartmanA. W

RosberryF. W

SimpsonJ. Arol

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

1973.

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Nota di bibliografia

Includes bibliographical references.