Silicon device processing / / Charles P. Marsden

• Record Nr.: UNINA9910709527503321
• Autore: Marsden Charles P
• Pubbl/distr/stampa: Gaithersburg, MD : , : U.S. Dept. of Commerce, National Institute of Standards and Technology, , 1970
• Descrizione fisica: 1 online resource
• Collana: NBS special publication ; ; 337
• Altri autori (Persone): MarsdenCharles P
• Soggetti: Silicon; Conference papers and proceedings.
• Lingua di pubblicazione: Inglese
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Monografia
• Note generali: 1970.; Contributed record: Metadata reviewed, not verified. Some fields updated by batch processes.; Title from PDF title page.
• Nota di bibliografia: Includes bibliographical references.