1.

Record Nr.

UNINA9910703951903321

Autore

Knick Cory R.

Titolo

Design and fabrication of a strain-powered microelectromechanical system (MEMS) switch / / Cory R Knick and Christopher J Morris

Pubbl/distr/stampa

Adelphi, MD : , : Army Research Laboratory, , September 2014

Descrizione fisica

1 online resource (v, 25 pages) : color illustrations

Collana

ARL-TR ; ; 7095

Soggetti

Microelectromechanical systems

Microfabrication

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Title from title screen (viewed Sept. 30, 2015).

"September 2014."

Nota di bibliografia

Includes bibliographical references (pages 14-15).