1.

Record Nr.

UNINA9910699726803321

Autore

Sarney Wendy L

Titolo

Sample preparation procedure for TEM imaging of semiconductor materials [[electronic resource] /] / by Wendy L. Sarney

Pubbl/distr/stampa

Aberdeen Proving Ground, MD : , : Army Research Laboratory, , [2004]

Descrizione fisica

1 online resource (iv, 10 pages) : illustrations

Collana

ARL-TR ; ; 3223

Soggetti

Semiconductors - Sampling - United States

Transmission electron microscopy

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Title from title screen (viewed on Dec. 3, 2010).

"June 2004."

000688067

Nota di bibliografia

Includes bibliographical references.