Wafer manufacturing : shaping of single crystal silicon wafers / / Imin Kao, Chunhui Chung

• Record Nr.: UNINA9910555197003321
• Autore: Kao Imin
• Pubbl/distr/stampa: Hoboken, New Jersey : , : John Wiley & Sons, Incorporated, , [2021]; ©2021
• ISBN: 1-118-69625-5; 1-118-69623-9; 1-118-69622-0
• Descrizione fisica: 1 online resource (307 pages) : illustrations
• Disciplina: 621.38152
• Soggetti: Semiconductor wafers; Electronic books.
• Lingua di pubblicazione: Inglese
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Monografia
• Note generali: Includes index.