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1. |
Record Nr. |
UNINA9910554862703321 |
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Autore |
Bardos Ladislav <1947-> |
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Titolo |
Microwave plasma sources and methods in processing technology / / Ladislav Bardos, Hana Barankova, Uppsala University, Uppsala, Sweden |
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Pubbl/distr/stampa |
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Hoboken, New Jersey : , : John Wiley & Sons, , [2022] |
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©2022 |
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ISBN |
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1-119-82688-8 |
1-119-82690-X |
1-119-82689-6 |
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Descrizione fisica |
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1 online resource (262 pages) |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Nota di bibliografia |
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Includes bibliographical references and index. |
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