Zwei neuartige integrierte Bauelemente werden erstmals realisiert und ihre Möglichkeiten und Limitationen diskutiert: ein Dünnschicht-Laserscanner und ein Dünnschicht-Minispektrometer. Die Bauelemente sind mit ca. 10 mm³ von sehr geringer Baugröße. Es wird zudem gezeigt, dass mit dem vorgestellten Konzept eine Strahlablenkung im Raum ohne den Einsatz mechanischer Aktuatoren möglich ist. |