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1. |
Record Nr. |
UNINA9910323859703321 |
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Autore |
Geng, Hwaiyu |
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Titolo |
Semiconductor manufacturing handbook / / Hwaiyu Geng |
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Pubbl/distr/stampa |
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New York, NY : : McGraw-Hill Education, , 2018 |
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ISBN |
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Edizione |
[2nd ed.] |
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Descrizione fisica |
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XXXI, 525 p. : ill. ; 26 cm |
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Locazione |
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Collocazione |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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