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1. |
Record Nr. |
UNINA9910317805803321 |
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Titolo |
MEMS sensors : design and application / / Siva Yellampalli, editor |
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Pubbl/distr/stampa |
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[Place of publication not identified] : , : IntechOpen, , [2018] |
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©2018 |
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ISBN |
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1-83881-522-8 |
1-78923-395-X |
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Descrizione fisica |
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1 online resource (218 pages) : illustrations |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Microelectromechanical systems industry |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Nota di bibliografia |
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Includes bibliographical references. |
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