Chemical vapor deposition

• Record Nr.: UNINA9910227340203321
• Pubbl/distr/stampa: Weinheim, : Verlag & Co. KGaA, : [VCH Verlagsgesellschaft]; [Deerfield Beadh, Fla.], : [VCH Publishers]
• ISSN: 1521-3862
• Descrizione fisica: 1 online resource
• Soggetti: Chemical vapor deposition; Dépôt chimique en phase vapeur; Deposició en fase de vapor; Periodicals.; Revistes electròniques.
• Lingua di pubblicazione: Inglese
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Periodico
• Note generali: Refereed/Peer-reviewed; Published: Weinheim : Verlag GmbH & Co. KGaA : [VCH Verlagsgesellschaft ; Deerfield Beadh, Fla. : VCH Publishers], 1995-Aug. 1997 ; published: Weinheim : Verlag GmbH & Co. KGaA : [Wiley-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA], Oct. 1997-Nov. 1997; published: Weinheim, Fed. Rep. of Germany : Wiley-VCH Verlag GmbH, 1998-