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1. |
Record Nr. |
UNINA9910164285003321 |
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Autore |
Gupta D. C |
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Titolo |
Gate Dielectric Integrity: Material, Process, and Tool Qualification |
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Pubbl/distr/stampa |
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[Place of publication not identified], : American Society for Testing & Materials, 2000 |
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ISBN |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Electrical & Computer Engineering |
Engineering & Applied Sciences |
Electrical Engineering |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Note generali |
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Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph |
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