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1. |
Record Nr. |
UNINA9910147021203321 |
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Titolo |
Materials science in semiconductor processing |
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Pubbl/distr/stampa |
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ISSN |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Semiconductors |
Integrated circuits - Materials |
Integrated circuits - Materials - Periodicals |
Semi-conducteurs - Périodiques |
Circuits intégrés - Matériaux - Périodiques |
Semi-conducteurs |
Circuits intégrés - Matériaux |
Periodicals. |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Periodico |
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Note generali |
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