Record Nr.

UNINA9910145623703321

Titolo

2006 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop

Pubbl/distr/stampa


[Place of publication not identified], : I E E E, 2006

ISBN

1-5090-9529-2

Descrizione fisica

1 online resource

Disciplina

621.3

Soggetti

Electrical & Computer Engineering

Electrical Engineering

Engineering & Applied Sciences

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph