1.
Record Nr.
UNINA9910145137703321
Titolo
2007 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference
Pubbl/distr/stampa
[Place of publication not identified], : I E E E, 2007
ISBN
9781509087099
1509087095
9781424406531
1424406536
Soggetti
Electrical & Computer Engineering
Engineering & Applied Sciences
Electrical Engineering
Lingua di pubblicazione
Inglese
Formato
Materiale a stampa
Livello bibliografico
Monografia
Note generali
Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph