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1. |
Record Nr. |
UNINA9910144096303321 |
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Titolo |
Reliability of MEMS [[electronic resource] /] / edited by Osamu Tabata and Toshiyuki Tsuchiya |
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Pubbl/distr/stampa |
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Weinheim, : Wiley-VCH, c2008 |
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ISBN |
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1-281-94693-1 |
9786611946937 |
3-527-62213-6 |
3-527-62256-X |
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Edizione |
[11th ed.] |
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Descrizione fisica |
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Collana |
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Advanced micro & nanosystems ; ; v.6 |
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Altri autori (Persone) |
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TsuchiyaToshiyuki |
TabataOsamu <1956-> |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Microelectromechanical systems - Reliability |
Electrical engineering |
Electronic books. |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Note generali |
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"Testing of materials and devices". |
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Nota di bibliografia |
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Includes bibliographical references and index. |
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