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Record Nr.
UNINA9910143021203321
Titolo
15th IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors--RTP 2007 : October 2-5, 2007, Grand Hotel Baia Verde, Catania, Italy / / IEEE Electron Devices Society
Pubbl/distr/stampa
IEEE
ISBN
9781509082155
1509082158
Disciplina
621.3815/2
Soggetti
Semiconductors - Heat treatment
Rapid thermal processing
Semiconductor doping
Semiconductors - Defects
Lingua di pubblicazione
Inglese
Formato
Materiale a stampa
Livello bibliografico
Monografia