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1. |
Record Nr. |
UNINA9910141573603321 |
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Autore |
Kaariainen Tommi |
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Titolo |
Atomic layer deposition [[electronic resource] ] : principles, characteristics, and nanotechnology applications / / Tommi Kaariainen ... [et al.] |
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Pubbl/distr/stampa |
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Hoboken, NJ, : John Wiley & Sons, c2013 |
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ISBN |
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1-118-74740-2 |
1-118-74742-9 |
1-118-74738-0 |
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Edizione |
[2nd ed.] |
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Descrizione fisica |
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1 online resource (272 p.) |
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Altri autori (Persone) |
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CameronDavid <1949-> |
KääriäinenMarja-Leena |
ShermanArthur <1931-> |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Chemical vapor deposition |
Epitaxy |
Microelectronics |
Nanotechnology |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Note generali |
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Description based upon print version of record. |
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Nota di bibliografia |
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Includes bibliographical references and index. |
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Nota di contenuto |
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Cover; Title Page; Copyright Page; Contents; Acknowledgements; Foreword; Preface; 1 Fundamentals of Atomic Layer Deposition; 1.1 Chemical Vapour Deposition; 1.1.1 Thermal CVD; 1.1.2 Plasma Enhanced CVD (PECVD); 1.2 Vapour Adsorption; 1.2.1 Physisorption; 1.2.2 Chemisorption; 1.3 Atomic Layer Deposition (ALD); 1.3.1 Thermal ALD Processes; 1.3.2 Radical Enhanced ALD (REALD); 1.3.3 Spatial ALD (SALD); References; 2 Elemental Semiconductor Epitaxial Films; 2.1 Epitaxial Silicon; 2.1.1 Dichlorosilane Processes; 2.1.2 Other Processes; 2.1.3 Epitaxial Germanium; References |
3 III-V Semiconductor Films3.1 Gallium Arsenide; 3.1.1 Organometallic Precursors; 3.1.2 Halogen Precursors; 3.2 Other III-V Semiconductor Films; 3.3 Applications; 3.3.1 Photonic Structures; 3.3.2 Transistors; References; 4 Oxide films; 4.1 Introduction; 4.2 Aluminum Oxide; 4.2.1 Processes and Properties of Aluminum Oxide; 4.3 Titanium Dioxide; 4.3.1 Processes and Properties of TiO2; 4.4 Zinc Oxide; 4.4.1 Processes |
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and Properties of ZnO; 4.5 Zirconium Dioxide; 4.5.1 Processes and Properties of ZrO2; 4.6 Hafnium Dioxide; 4.6.1 Processes and Properties of HfO2; 4.7 Other Oxides; 4.7.1 Tin Oxide |
4.7.2 Indium Oxide4.7.3 Tantalum Oxide; 4.8 Mixed Oxides and Nanolaminates; 4.8.1 Mixed Oxide Processes; 4.8.2 Nanolaminate Oxides; 4.9 Multilayers; References; 5 Nitrides and Other Compounds; 5.1 Introduction; 5.2 Nitrides; 5.2.1 Transition Metal Nitrides; 5.2.2 Group III Nitrides; 5.2.3 Group IV Nitrides; 5.2.4 Mixed Nitrides; 5.3 Chalcogenides; 5.4 Other Compounds; References; 6 Metals; 6.1 Introduction; 6.2 Noble Metals; 6.2.1 Silver Processes and Applications; 6.2.2 Ruthenium Processes and Applications; 6.2.3 Platinum and Palladium Processes and Applications |
6.2.4 Rhrodium Processes and Applications6.2.5 Iridium Processes and Applications; 6.3 Titanium; 6.4 Tantalum; 6.5 Aluminum; 6.6 Copper; 6.7 Other Transition Metals; References; 7 Organic and Hybrid Materials; 7.1 Introduction; 7.2 Organic layers; 7.3 Hybrid Organic-inorganic Layers.; 7.4 Applications of Organic and Hybrid Films; References; 8 ALD Applications and Industry; 8.1 Introduction; 8.2 MEMS/NEMS; 8.3 Thin Film Magnetic Heads; 8.4 Coating Nanoparticles, Nanomaterials and Porous Objects; 8.5 Optical Coatings; 8.6 Thin Film Electroluminescent Displays; 8.7 Solar Cells |
8.8 Anti-corrosion Layers8.9 Opportunities in Organic Electronics; 8.10 ALD Tool Manufacturers and Coating Providers; References; Index |
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Sommario/riassunto |
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Since the first edition was published in 2008, Atomic Layer Deposition (ALD) has emerged as a powerful, and sometimes preferred, deposition technology. The new edition of this groundbreaking monograph is the first text to review the subject of ALD comprehensively from a practical perspective. It covers ALD's application to microelectronics (MEMS) and nanotechnology; many important new and emerging applications; thermal processes for ALD growth of nanometer thick films of semiconductors, oxides, metals and nitrides; and the formation of organic and hybrid materials. |
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2. |
Record Nr. |
UNINA9910794813603321 |
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Titolo |
Oper der Aufklärung - Aufklärung der Oper : Francesco Algarottis 'Saggio sopra l'opera in musica' im Kontext : Mit einer kommentierten Edition der 5. Fassung des 'Saggio' und ihrer Ubersetzung durch Rudolf Erich Raspe / / herausgegeben von Frieder von Ammon, Jörg Krämer und Florian Mehltretter |
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Pubbl/distr/stampa |
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Berlin, [Germany] ; ; Boston, [Massachusetts] : , : De Gruyter, , 2017 |
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©2017 |
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ISBN |
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3-11-054537-3 |
3-11-054592-6 |
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Descrizione fisica |
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1 online resource (400 pages) |
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Collana |
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Frühe Neuzeit, , 0934-5531 ; ; Band 214 |
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Classificazione |
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Disciplina |
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Soggetti |
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Opera - Europe |
Opera - Germany |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Nota di bibliografia |
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Includes bibliographical references and index. |
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Nota di contenuto |
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Frontmatter -- Inhalt -- Einleitung / Ammon, Frieder von / Krämer, Jörg / Mehltretter, Florian -- Francesco Algarottis Saggio sopra l'opera in musica und die europäische Operntheorie in der ersten Hälfte des 18. Jahrhunderts / Krämer, Jörg -- Algarottis Saggio sopra l'opera in musica im Kontext der Aufklärungsphilosophie / Stiening, Gideon -- Francesco Algarotti: Musikberater Friedrichs des Großen / Henze-Döhring, Sabine -- Britischer Humor, italienische und französische Gelehrtheit / Grund, Vera -- Algarotti in Parma / Lautenschläger, Philine -- Reformen bei Traetta / Jahrmärker, Manuela -- Die Nachahmungsdebatte im Kontext der Hamburger Oper / Jahn, Bernhard -- Algarottis Saggio sopra la pittura und die Debatte um Lessings Laokoon / Niefanger, Dirk -- Rudolf Erich Raspe als Übersetzer von Algarottis Saggio sopra l'opera in musica / Ammon, Frieder von -- Vom monströsen zum erotischen Körper / Gess, Nicola -- Anhang -- Chronik Algarotti -- Chronik Operngeschichte -- Autorinnen und Autoren -- Personenregister |
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Sommario/riassunto |
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Oper und Aufklärung bilden keineswegs einen Widerspruch, sondern |
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stehen in einem produktiven Verhältnis zueinander; nicht zufällig ist die Gattung ein bevorzugtes Streitobjekt der Aufklärer. Am bündigsten kommen diese Debatten in Francesco Algarottis 'Saggio sopra l'opera in musica' zum Ausdruck, einer Schrift, die zuerst 1755 erschien und bald in ganz Europa Verbreitung fand, heute aber so gut wie vergessen ist. So elegant wie scharfzüngig führt Algarotti darin seine Vorstellungen von einer grundlegenden Reform der Oper nach den Maßgaben einer aufgeklärten Ästhetik aus, wobei er auch auf seine Erfahrungen als spiritus rector der friderizianischen Oper in Berlin und Potsdam zurückgreifen kann. In vorliegendem Band werden diese Schrift und ihre weitreichenden Wirkungen von Literatur-, Musik- und Theaterwissenschaftlern sowie Philosophiehistorikern erstmals umfassend analysiert und kontextualisiert. Hinzu kommt eine kommentierte Edition der am weitesten verbreiteten Fassung des 'Saggio' sowie ihrer einflussreichen deutschen Übersetzung durch den umstrittenen Aufklärer Rudolf Erich Raspe. |
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