Record Nr.

UNINA9910140810203321

Titolo

2010 21st Annual IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference

Pubbl/distr/stampa


[Place of publication not identified], : I E E E, 2010

ISBN

1-4244-6519-2

Descrizione fisica

1 online resource

Disciplina

658.562

Soggetti

Process control

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Note generali

Bibliographic Level Mode of Issuance: Monograph