Advances in Micro/Nano Electromechanical Systems and Fabrication Technologies / / edited by Kenichi Takahata

• Record Nr.: UNINA9910136171303321
• Pubbl/distr/stampa: Rijeka, Croatia : , : InTech, , 2013
• ISBN: 953-51-6344-2; 953-51-1085-3
• Descrizione fisica: 1 online resource (236 pages) : illustrations some color
• Disciplina: 670
• Soggetti: Optical physics; Manufacturing processes
• Lingua di pubblicazione: Inglese
• Formato: Materiale a stampa
• Livello bibliografico: Monografia
• Nota di bibliografia: Includes bibliographical references.