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1. |
Record Nr. |
UNINA990008011480403321 |
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Autore |
Quirk, Michael |
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Titolo |
Semiconductor manufacturing technology / Michael Quirk, Julian Serda |
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Pubbl/distr/stampa |
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Upper Saddle River, NJ : Prentice Hall, 2001 |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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XIII, 666 p. : ill. ; 29 cm |
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Altri autori (Persone) |
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Disciplina |
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Locazione |
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Collocazione |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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