1.

Record Nr.

UNINA990007978840403321

Autore

Wolf, Stanley <1943- >

Titolo

Silicon processing for the VLSI Era / Stanley Wolf, Richard N. Tauber

Pubbl/distr/stampa

Sunset Beach, California : Lattice Press, 2000-

ISBN

0-9616721-6-1

Edizione

[2nd ed.]

Descrizione fisica

v. : ill. ; 24 cm

Altri autori (Persone)

Tauber, Richard N.

Disciplina

621.395

621.381 73

Locazione

FINBC

DINEL

Collocazione

13 24 14

10 E II 619

10 E II 630

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia

Nota di contenuto

1.: Process technology