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1. |
Record Nr. |
UNINA990003996620403321 |
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Autore |
May, Gary S. |
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Titolo |
Fundamentals of semiconductor fabrication / Gary S. May, Simon M. Sze |
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Pubbl/distr/stampa |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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xiii, 305 p. : ill. ; 24 cm |
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Altri autori (Persone) |
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Disciplina |
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Locazione |
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Collocazione |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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