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1. |
Record Nr. |
UNINA990000165310403321 |
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Titolo |
5. : Deb-ele : Debuggers and debuggingtechniques to electron beam lithography.VI, 432 p. : ill. |
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Pubbl/distr/stampa |
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New York-Basel : M. Dekker, copyr. 1990- |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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Disciplina |
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Locazione |
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Collocazione |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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