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1. |
Record Nr. |
UNINA990000133560403321 |
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Autore |
Wolf, Stanley <1943- > |
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Titolo |
Silicon processing for the VLSI Era / Stanley Wolf, Richard N. Tauber |
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Pubbl/distr/stampa |
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Sunset Beach : Lattice Press, 1986- |
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ISBN |
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0-9616721-3-7 |
0-9616721-4-5 |
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Descrizione fisica |
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Altri autori (Persone) |
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Disciplina |
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Locazione |
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Collocazione |
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13 P 06 07 |
13 P 06 08 |
13 24 15 |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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Nota di contenuto |
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1.: Process technology 2.: Process integration 3.: The submicron MOSFET |
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