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1. |
Record Nr. |
UNICASRML0283694 |
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Autore |
Chapman, Brian |
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Titolo |
Glow Discharge Processes : sputtering and plasma etching / Brian Chapman |
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Pubbl/distr/stampa |
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ISBN |
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Descrizione fisica |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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