| |
|
|
|
|
|
|
|
|
1. |
Record Nr. |
UNICASRML0278001 |
|
|
Titolo |
Chemical perspectives of microelectronic materials III : symposium held November 30-December 3, 1992, Boston, Massachussetts, U.S.A. / editors C.R. Abernathy...[et al.] |
|
|
|
|
|
|
|
Pubbl/distr/stampa |
|
|
|
|
|
|
ISBN |
|
|
|
|
|
|
Descrizione fisica |
|
xv, 727 p. : ill. ; 23 cm |
|
|
|
|
|
|
Disciplina |
|
|
|
|
|
|
Lingua di pubblicazione |
|
|
|
|
|
|
Formato |
Materiale a stampa |
|
|
|
|
|
Livello bibliografico |
Monografia |
|
|
|
|
| |