1.

Record Nr.

UNICAMPANIAVAN0242648

Titolo

Three-Dimensional Integration of Semiconductors : Processing, Materials, and Applications / editors Kazuo Kondo, Morihiro Kada, Kenji Takahashi

Pubbl/distr/stampa

Cham, : Springer, 2015

Descrizione fisica

XIX, 408 p. : ill. ; 24 cm

Disciplina

540

610.28

541.37

541.377

623.045

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia