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1. |
Record Nr. |
UNICAMPANIAVAN00258134 |
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Titolo |
Atomic Layer Deposition for Semiconductors / editor Choel Seong Hwang |
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Pubbl/distr/stampa |
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New York, : Springer, 2014 |
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Descrizione fisica |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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