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1. |
Record Nr. |
UNICAMPANIASUN0125711 |
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Autore |
Claeys, Cor |
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Titolo |
Metal Impurities in Silicon- and Germanium-Based Technologies : Origin, Characterization, Control, and Device Impact / Cor Claeys, Eddy Simoen |
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Pubbl/distr/stampa |
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XXXIII, 438 p., : ill. ; 24 cm |
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Edizione |
[Cham : Springer, 2018] |
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Descrizione fisica |
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Pubblicazione in formato elettronico |
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Altri autori (Persone) |
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Disciplina |
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621.36 |
620.1 |
541.377 |
537.5344 |
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Lingua di pubblicazione |
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Formato |
Materiale a stampa |
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Livello bibliografico |
Monografia |
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