1.

Record Nr.

UNICAMPANIASUN0041754

Autore

Tompkins, Harland G.

Titolo

Spectroscopic ellipsometry and reflectometry : a user's guide / Harland G. Tompkins, William A. McGahan

Pubbl/distr/stampa

New York, : J. Wiley, c1999

ISBN

04-7118-172-2

Descrizione fisica

XIV, 228 p. : ill. ; 24 cm.

Altri autori (Persone)

McGahan, William A.

Lingua di pubblicazione

Inglese

Formato

Materiale a stampa

Livello bibliografico

Monografia